TS3000-HP，300mm 高功率自动探针台系统

1. 专为高压、高电流而设计

在晶片大功率设备上测量高达10kV/600A

•  镀金卡盘表面的的最小接触电阻和真空孔优化的薄晶 圆处理至50µm

•  Taiko晶圆壳牌选项

•  专用的高压、高电流探头

•  抗弧解决方案

2. 专业的屏蔽环境，用于精确测量

•  为高级EMI/RFI/光紧屏蔽而设计

•  FA低泄漏能力

•  准备好适应温度范围-60°C至300°C

3. 人体工程学设计操作更安全

•  简单的晶圆或单个DUT加载从前面

•  监管部门批准的安全联锁灯帘来保护用户

•  集成式主动隔振装置

•  完全集成的支撑器控制， 以实现更快、更安全、方 便的系统和测试操作

•  安全测试管理 (STM™) 选项，可在任何吸管温度下 加载/卸载晶圆和自动露点控制

实现准确和可靠的高功率测量
超高功率探针(UHP)：

晶片测量高达10kV/600A (脉冲) 。MPI可更换的 多指探针尖端和探针臂设计用于超高电流测量的 低接触电阻， 并支持高达10KV的超高电压，而无 需更换高压和电流应用的探针。