TS2000 Automated Probe System

Recognize the Difference

MPI TS2000是专为满足高端半导体测试市场的要求而设计,是全球探针台系统发展成熟后再次自然突破的产品。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要用于解决故障分析设计验证IC工程晶圆级可靠性以及MEMS,高功率RF和mmW器件测试的特殊要求

TS2000可用于环境温度和/或仅热温度操作模式,速度快达10 Dies /秒(取决于最终配置),这使其成为离散RF设备上预生产电气测试的理想选择,例如


MPI-AST-V20-001 TS2000 Series Fact Sheet

MPI-AST-V20-001 TS2000 Series Data Sheet

优点和特色

TS2000_Large Probe Platen(shaded)

大探针压板

TS2000系列提供大型,易于接近的探头压板,可容纳多达12x DC或4x RF MicroPositioners。

负载牵引调谐器或更大面积的MicroPositioners的集成使TS2000系统成为RF和mmW测量的理想选择。


TS2000_Easy Wafer Loading(shaded)

易于晶圆装载

大型前门通道可轻松装载/卸载100,150,200 mm晶圆,晶圆碎片或甚至小至5×5 mm IC。

AUX卡盘位于前面,可以非常方便地装载/卸载。没有推出阶段允许用于RF校准和探针卡清洁的简单自动化方法。


TS2000_Integrated Hardware Control Panel(shaded)

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探头系统中,基于数十年的经验和客户交互设计,提供更快,更安全,更方便的系统控制和测试操作。

如有必要,键盘和鼠标的位置可以控制软件,还可以控制基于Windows®的仪器。

用于晶圆和AUX卡盘的真空控制面板位于右前侧,便于在装载/卸载过程中进行操作。


TS2000_Thermal-Chuck-Integration

热卡盘集成

热卡盘(从20°C或环境温度到最高300°C)可以使用完全集成的触摸屏显示器进行操作,放置在操作员面前的方便位置,以便快速操作和立即反馈。

TS2000_Probe Cards & MicroPositioners(shaded)

P探针卡和微型定位器 – 同时进行

许多单探头,用于4.5“x 11”探针卡的薄型探针卡固定器,以及较低的板与卡盘距离,是使用有源探头同时探测的理想选择,使该系统成为设计验证和/或故障分析工作的理想选择

TS2000-D_Integrated_DarkBox-1

集成 DarkBox

TS2000-D就是已集成DarkBox的TS2000!

该系统专为最佳占地面积,嵌入式互锁,LED照明和各种测量仪器的标准化接口面板而设计,是光和激光安全保护测试环境的首选。

从后面板轻松访问,可以快速,方便地重新配置或初始设置。


Instruments-Integration

仪器集成

可选的仪器架减少了电缆长度,提高了RF和mmW应用的测量动态和方向性

Vibration Isolation


隔振

TS2000采用两种类型的隔振解决方案,可在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占

地面积与工业中常用的现有独立振动隔离表相当或更小。

软件套件 SENTIO®

MPI自动化工程探针系统由独特且革命性的多点触控操作控制SENTIO®软件套件 - 简单直观的操作节省了大量的培训时间,Scroll,Zoom,Move命令模仿现代智能移动设备,让每个人都成为专家在几分钟内。在活动应用程序和其他APP之间切换只需简单的手指扫描。 

对于RF应用,无需切换到另一个软件平台 - MPI RF校准软件程序QAlibria®与SENTIO®完全集成 - 通过遵循单一操作概念方法易于使用。