射频及毫米波应用（RF & mmW）

应用说明：

晶圆级射频及毫米波（RF & mmW）特性描述是射频及毫米波积体电路开发、设计除错，以及高效能半导体元件建模的关键部分。由于晶圆级 RF 测试仪器（如：向量网路分析仪、升频器、阻抗调谐器、藕合器、Bias-Ts 及许多其他系统元件）之架设整合具高複杂性及需求特殊性，MPI特为此应用量测的精准度，投入相当多心力。

量测需求：

射频量测需求主要涵盖 RF 功率及 RF 杂讯特性描述之大小讯号量测、S 参数、讯号源、负载拉移阻抗匹配等 。这些应用皆挑战探针台系统的机械稳定性、最短传输路径、量测最佳方向性、长时间于不同类型金属待测物上重複且高一致性的点测能力、以及是否可精准校正至待测物端之能力。

RF & mmW

MPI-AST-V20-001

Trendsetting Methodologies for Wafer-Level RF Measurements

MICROTEST解决方案：

MPI稳固的工程探针台系统，是您在射频及毫米波量测应用的少有可靠选择。精巧的底座尺寸完全符合 RF 功率及杂讯特性描述系统的整合需求。精密且无后座力的 RF 微定位器（MicroPositioners），提供准确定位 RF 探针的能力。

精密设计的 TS150-THZ 探针台系统搭配高端毫米波 MP80 微定位器（MicroPositioner）、以及兼具高倍率及长工作距离的 MPI SZ10 或 MZ12 光学显微镜，尽可能地缩短了毫米波/次毫米波网路分析仪升频器与待测物之间的距离，除实现最短讯号传输路径，更确保最佳的量测方向性及精准度。

MPI TITAN™ 射频探针系列，采用特有的探针叶片设计及微机电制程制造，提供优异可视角、低接触电阻，甚至在较难探测之铝材上亦能展现极高的接触一致性。

领先的校正软体 QAlibria® 及经过验证之校正件（Calibration Substrates），实现业界标准及先进的校正方法，提供 RF 计量校正的解决方案。