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MPI TS3500 300mm全自动探针台

2019-06-11


TS3500系列采用WaferWallet™=精度+灵活性+自动化


探针台图_17.png



TS3500和TS3500-SE与MPI众所周知的TS3000和TS3000-SE 300 mm探测台的功能相当,通过配置或升级MPI独特的WaferWallet™,增加了全自动功能。 MPI的解决方案是通过提供低于其他供应商的半自动化产品的全自动化来降低客户的总体测试成本。

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WaferWallet™

建模和新技术开发过程中器件表征的通用做法是通过极其精确的IV-CV,1 / f,RF,mmW和负载牵引测量从典型的几个晶圆中提取数据。

MPI的WaferWallet 扩展了TS3500系列自动化,而不会影响测量能力。WaferWallet 设计有五个独立托盘,可手动,符合人体工程学地装载150,200 或300 mm“建模”晶圆。现在可以在不同温度下使用多达五个相同的晶圆进行全自动测试。












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