MPI TS300-SE 探针台系统

2019-03-28

MPI手动TS300-SE探针台系统

简单，直观，方便，可确保高度精确的测量。

空气阶段 MPI独特的空气轴承平台设计，简单的单手圆盘控制，提供无与伦比的操作便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时不会影响精确和精确的定位能力，并具有额外精细和精确的25x25mm XY-Theta千分尺机芯。
带探头悬停控制™的独特压板提升装置Unique Platen Lift with Probe Hover Control™ 测量精度首先取决于接触质量！高度可重复（1μm）的压板提升设计具有三个离散位置，用于接触，分离（300μm）和加载（3mm），带有安全锁实用程序，这些都是MPI手动探头系统中无与伦比的功能的例子。这些功能可防止意外的探头或晶圆损坏，同时提供直观的控制和精确的接触定这种能力在高频和高功率应用中尤为重要，以便获得最准确的测量结果。对于TS200和TS300，额外的Probe Hover Control™具有悬停高度（50,100或150μm），可轻松方便地探测垫对齐。
高度调整量表 Height Adjustment Scale 探针头压板具有25 mm的精细高度调节，以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可直接反馈当前位置。
紧凑和刚性压板设计 Compact and Rigid Platen Design 紧凑而坚固的压板设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner，可满足各种应用要求。
各种夹具选项 Various Chuck Options 手动系统提供各种卡盘选项，以满足不同的预算和应用要求。卡盘选择包括MPI的同轴或三轴夹头或各种ERS 热卡盘小号支持温度测量高达300℃ -如实施例用于快速和方便的访问和操作的热触摸控制器的无缝集成。
辅助卡盘 Auxiliary Chucks RF卡盘包括两个内置陶瓷材料的辅助卡盘，用于精确的RF校准。
各种光学和运动选择 Various Optic and Movement Choices 各种光学器件可供选择，适用于所有常见的DC / CV应用，也可选择单管高倍率显微镜，用于RF或负载牵引配置。
光学倾斜 Optic Tilting 作为标准特征或甚至是气动驱动的90度倾斜，线性Z升降机提供非常方便的设置和易于更换的探头尖端。
隔振平台所有手动系统均包含振动吸收底座，可实现稳定可靠的长期探头与焊盘接触，确保可靠的测量结果。在实验室环境需要大量振动保护的情况下，可选配隔振平台或工作台。
黑盒子可用的Dark Box选项提供EMI屏蔽和不透光测试环境，可用于超低噪声DC测量。